Anisotropes ätzen ist ein entscheidender Prozess in der Mikroelektromechanik (MEMS), der es ermöglicht, präzise und definierte Strukturen in dünnen Schichten von Materialien zu erstellen. Im Gegensatz zum isotropen Ätzen, bei dem das Material gleichmäßig in alle Richtungen abgetragen wird, erfolgt beim anisotropen Ätzen die Materialentfernung bevorzugt in bestimmte Richtungen. Dies wird oft durch die Verwendung von chemischen Ätzmitteln erreicht, die auf die Kristallstruktur des Materials abgestimmt sind.
Die Vorteile des anisotropen Ätzens sind unter anderem:
Diese Eigenschaften machen anisotropes Ätzen zu einem unverzichtbaren Verfahren in der MEMS-Fertigung, insbesondere für Anwendungen in Bereichen wie Sensoren, Aktuatoren und Mikrofluidik.
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