Ein MEMS-Beschleunigungsmesser (Micro-Electro-Mechanical Systems) ist ein Miniaturgerät, das Beschleunigungskräfte misst, die auf einen Körper wirken. Das Design basiert auf der Integration von mechanischen und elektrischen Komponenten auf einem einzigen Chip, was eine hohe Präzision und Empfindlichkeit ermöglicht. Wesentliche Elemente eines MEMS-Beschleunigungsmessers sind:
Ein typisches Design erfordert die Berücksichtigung von Faktoren wie Dämpfung, Stabilität und Temperaturkompensation, um die Genauigkeit zu gewährleisten. Die mathematische Beschreibung der Bewegung kann durch die Gleichung erfolgen, wobei die auf die Masse wirkende Kraft, die Masse und die Beschleunigung ist. MEMS-Beschleunigungsmesser finden Anwendung in verschiedenen Bereichen, einschließlich der Automobilindustrie, Mobiltelefonen und tragbaren Geräten.
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