MEMS-Sensoren (Micro-Electro-Mechanical Systems) sind mikroskopisch kleine Geräte, die mechanische und elektrische Komponenten kombinieren, um physikalische Größen wie Beschleunigung, Druck, Temperatur und Feuchtigkeit zu messen. Diese Sensoren basieren auf der Integration von Mikroelektronik und mechanischen Strukturen auf einem einzigen Chip, was sie besonders kompakt und leistungsfähig macht.
Die Funktionsweise beruht häufig auf der Nutzung von Mikrostrukturen, die auf physikalische Änderungen wie Bewegungen oder Druck reagieren und diese in elektrische Signale umwandeln. Ein typisches Beispiel sind Beschleunigungssensoren, die die Änderung der Bewegung messen, indem sie die Verschiebung einer Masse in einem Mikrochip detektieren. MEMS-Sensoren finden breite Anwendung in der Automobilindustrie, der Medizintechnik, der Unterhaltungselektronik und vielen anderen Bereichen, da sie eine kostengünstige und präzise Möglichkeit bieten, Daten in Echtzeit zu erfassen und zu verarbeiten.
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